[发明专利]用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统有效
| 申请号： | 201510960082.9 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105445931B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王丽萍;张海涛;马冬梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统由于引入非共光路测量误差，而导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凹镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组提供的球面波转化为与待检非球面凹镜匹配的非球面波；所述透射组的F/#为3.1，补偿组的F/#为3.7，待检非球面凹镜的F/#为1.8。本发明所述的补偿器光学系统减轻了补偿器设计难度，降低了补偿器加工装配难度，减少误差因素以提升检测精度，本发明所述的方法相对于超高精度非球面凹镜检测，能够提供相应的满足剩余波像差要求的补偿器。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿器 光学系统 透射 非球面凹镜 补偿组 检测 凹非球面 球面波 加工装配难度 非球面面形 误差因素 波像差 非球面 共光路 匹配 测量 引入 转化 | ||
【主权项】：
1.用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，包括透射组(1)、补偿组(2)和待检非球面凹镜(3)，所述透射组(1)透射球面波，补偿组(2)将透射组(1)提供的球面波转化为与待检非球面凹镜(3)匹配的非球面波；其特征是；所述透射组(1)的F/#为3.1，补偿组(2)的F/#为3.7，待检非球面凹镜(3)的F/#为1.8。
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