[发明专利]产品验收系统及产品验收方法

摘要

本发明揭示了一种产品验收系统及产品验收方法。本发明提供的产品验收系统，包括检测模块和判断模块，所述判断模块依据所述检测模块的检测结果决定产品的扣留和放行；其中，所述检测模块包括多个子模块；在前一个子模块运作完成并且该前一个子模块的检测结果正常的情况下，下一个子模块进行运作以对产品进行检测；在任一个子模块的检测结果不正常的情况下，所述判断模块决定产品扣留，在每一个子模块的检测结果都正常的情况下，所述判断模块决定产品放行。与现有技术相比，利用本发明的产品验收系统进行产品验收，避免了人工检测的费时费力，缩短了检测时间，提高了检测质量。

主权项

1.一种产品验收系统，包括检测模块和判断模块，所述判断模块依据所述检测模块的检测结果决定产品的扣留和放行；/n其中，所述检测模块包括多个子模块；在前一个子模块运作完成并且该前一个子模块的检测结果正常的情况下，下一个子模块进行运作以对产品进行检测；在任一个子模块的检测结果不正常的情况下，所述判断模块决定产品扣留，在每一个子模块的检测结果都正常的情况下，所述判断模块决定产品放行；/n所述多个子模块包括良率及性能检测模块、叠加检测模块和单片检测模块，所述良率及性能检测模块分析产品的良率及性能是否正常，所述叠加检测模块在所述良率及性能检测模块的检测结果正常的情况下，将同一批晶圆上的产品的测试结果叠加后进行检测，所述单片检测模块在所述叠加检测模块的检测结果正常的情况下对单片晶圆上的产品的测试结果进行检测，且所述判断模块在决定扣留产品时，将该产品所在批的全部晶圆扣留，并分析被扣留的全部晶圆中的每一片晶圆的情况。/n