[发明专利]基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置

摘要

基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中单独搭建极紫外波段气体吸收装置价格昂贵的技术问题。本发明的测量装置，主要包括光源腔、气体样品池、真空腔、第一分子泵、第一机械泵、第一真空计、第二分子泵、第二机械泵、第二真空计和流量计；气体样品池的一端与光源腔密封连接，另一端与真空腔密封连接，气体样品池设有中间孔道和多个外围孔道，中间孔道的两端以薄膜密封，中间孔道的侧壁上设有旁通入口、气体接入口、分子泵接入口以及真空计接入口，外围孔道沿中间孔道的中心轴圆周分布，两端分别与光源腔和真空腔连通。该装置降低了极紫外波段气体吸收系数的测量成本。

主权项

基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，主要包括光源腔(1)、真空腔(3)、第一分子泵(4)、第一机械泵(5)和第一真空计(6)；其特征在于，还包括气体样品池(2)、第二分子泵(7)、第二机械泵(8)、第二真空计(9)和流量计(10)；所述气体样品池(2)的一端与光源腔(1)密封连接，另一端与真空腔(3)密封连接，气体样品池(2)与真空腔(3)之间设有阀门；所述气体样品池(2)设有中间孔道(2‑1)和外围孔道(2‑2)；所述中间孔道(2‑1)的两端以薄膜密封，中间孔道(2‑1)的侧壁上设有与光源腔(1)连接的旁通入口(2‑1‑1)、与流量计(10)连接的气体接入口(2‑1‑2)、与第二分子泵(7)连接的分子泵接入口(2‑1‑3)以及与第二真空计(9)连接的真空计接入口(2‑1‑4)，且光源腔(1)与旁通入口(2‑1‑1)间设有旁通阀，第二分子泵(7)与分子泵接入口(2‑1‑3)之间设有阀门；所述外围孔道(2‑2)为多个，沿中间孔道(2‑1)的中心轴圆周分布，外围孔道(2‑2)的两端分别与光源腔(1)和真空腔(3)连通；所述第二机械泵(8)与第二分子泵(7)连接；所述流量计(10)的另一端与气源连接，且流量计(10)与气源之间设有阀门。