[发明专利]用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统在审
| 申请号： | 201510962268.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105572864A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王丽萍;张海涛;马冬梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统存在设计残差，进而引入非共光路的测量误差，导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凸镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组透射的球面波转化为与待检非球面凸镜匹配的非球面波；所述透射组的F/#为10，补偿组的F/#为6.4，待检非球面凸镜的F/#为3.6。本发明所述的补偿器光学系统降低了补偿器加工装配难度，减少误差因素以提升所述的补偿器光学系统的检测精度能够满足对极紫外光刻超高精度非球面检测的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 超高 精度 球面 检测 补偿 光学系统 | ||
【主权项】：
用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，包括透射组(1)、补偿组(2)和待检非球面凸镜(3)，所述透射组(1)透射球面波，补偿组(2)将透射组(1)透射的球面波转化为与待检非球面凸镜(3)匹配的非球面波；其特征是；所述透射组(1)的F/#为10，补偿组(2)的F/#为6.4，待检非球面凸镜(3)的F/#为3.6。
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