[发明专利]用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构

摘要

用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，属于极紫外光刻相关技术领域；本机构为了解决真空环境下锆膜更换的技术问题；本机构的锆膜安装板一直与法兰处于压紧状态，一旦监测到锆膜有破损，首先利用直线运动作动器推动锆膜安装板，把锆膜安装板与法兰脱开，然后驱动步进电机将锆膜安装板移动到下一个锆膜的位置，最后利用直线运动作动器推动锆膜安装板，使之与真空腔法兰压紧，从而完成锆膜更换；本机构可以在不破坏高真空环境的情况下进行破损后的锆膜更换，不但提高了效率，而且防止了物镜系统暴露大气受污染的风险，本机构选材及表面处理以及零部件的选择方面都具备良好的真空兼容性，可以满足超高真空度的使用要求。

主权项

用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，包括底部支撑板(1)、锆膜安装板(3)、齿条(4)、直线导套(5)、直线导套座(6)、移动导套座(7)、齿轮(8)、步进电机(10)、第一光轴(11)、直线作动器(12)、滚珠导套(13)、支撑板(14)、第二光轴(15)、U型支撑座(16)和弹簧(18)；其特征是，底部支撑板(1)固定于曝光真空腔内；底部支撑板(1)的两端对称固定U型支撑座(16)，在所述U型支撑座(16)上设置移动导套座(7)，滚珠导套(13)固定在移动导套座(7)上，通过第二光轴(15)将U型支撑座(16)、滚珠导套(13)和移动导套座(7)连接；所述移动导套座(7)与直线导套座(6)连接，直线作动器(12)固定在支撑板(14)上并与直线导套座(6)连接，所述支撑板(14)固定在底部支撑板(1)上；所述弹簧(18)的一端通过弹簧座(17)固定在移动导套座(7)上，另一端固定在U型支撑座(16)上；所述第一光轴(11)安装在锆膜安装板(3)上，第一光轴(11)与直线导套(5)装配在直线导套座(6)上；在所述直线作动器(12)驱动下，移动导套座(7)沿第二光轴(15)的光轴方向运动时带动直线导套座(6)运动，实现锆膜安装板(3)的运动；所述锆膜(20)为多个，且多个锆膜(20)沿第一光轴(11)方向依次固定在锆膜安装板(3)上，所述齿条(4)安装在锆膜安装板(3)顶部，齿轮(8)与步进电机(10)固紧，步进电机(10)通过电机安装座(9)固定在直线导套座(6)上，调整齿轮(8)的位置，使齿轮(8)与齿条(4)配合，实现锆膜安装板(3)沿第一光轴(11)方向运动，实现锆膜(20)的置换。