[发明专利]一种电子元器件电极的制作方法在审
申请号: | 201510966886.X | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN105448467A | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 余瑞麟;戴春雷 | 申请(专利权)人: | 深圳顺络电子股份有限公司 |
主分类号: | H01F17/00 | 分类号: | H01F17/00;H01F27/29;H01F41/32;H01F41/00 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
地址: | 518110 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种电子元器件电极的制作方法,包括以下步骤:1)流延薄膜生带;2)在所述薄膜生带上铺感光乳剂;3)采用定义了电极图案的掩膜版对所述感光乳剂进行曝光;4)对所述感光乳剂进行显影,得到电极图案;5)按照所述电极图案在所述薄膜生带上形成用于制作电极的电极沟槽;6)去除铺在所述薄膜生带上的所述感光乳剂;7)在所述电极沟槽中填充电极浆料,制出电极。该方法能够制作出既厚而截面形状又方,且边缘平整的电极,同时也能够制作出电极又厚而线间距较小的螺线型线圈。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子元器件 电极 制作方法 | ||
【主权项】:
一种电子元器件电极的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:1)流延薄膜生带;2)在所述薄膜生带上铺感光乳剂;3)采用定义了电极图案的掩膜版对所述感光乳剂进行曝光;4)对所述感光乳剂进行显影,得到电极图案;5)按照所述电极图案在所述薄膜生带上形成用于制作电极的电极沟槽;6)去除铺在所述薄膜生带上的所述感光乳剂;7)在所述电极沟槽中填充电极浆料,制出电极。
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