[发明专利]一种电子元器件电极的制作方法在审
| 申请号： | 201510966886.X | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105448467A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 余瑞麟;戴春雷 | 申请（专利权）人： | 深圳顺络电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01F27/29;H01F41/32;H01F41/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518110 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电子元器件电极的制作方法，包括以下步骤：1)流延薄膜生带；2)在所述薄膜生带上铺感光乳剂；3)采用定义了电极图案的掩膜版对所述感光乳剂进行曝光；4)对所述感光乳剂进行显影，得到电极图案；5)按照所述电极图案在所述薄膜生带上形成用于制作电极的电极沟槽；6)去除铺在所述薄膜生带上的所述感光乳剂；7)在所述电极沟槽中填充电极浆料，制出电极。该方法能够制作出既厚而截面形状又方，且边缘平整的电极，同时也能够制作出电极又厚而线间距较小的螺线型线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子元器件 电极 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电子元器件电极的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)流延薄膜生带；2)在所述薄膜生带上铺感光乳剂；3)采用定义了电极图案的掩膜版对所述感光乳剂进行曝光；4)对所述感光乳剂进行显影，得到电极图案；5)按照所述电极图案在所述薄膜生带上形成用于制作电极的电极沟槽；6)去除铺在所述薄膜生带上的所述感光乳剂；7)在所述电极沟槽中填充电极浆料，制出电极。
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