[发明专利]一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置在审
| 申请号： | 201510967152.3 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105423989A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王辉;周烽;郭本银;谢耀;王丽萍;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G02B7/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置属于光学元件高精度面形调整技术领域，目的在于解决现有技术存在的检测支撑结构不能满足实现超高精度的面形收敛性的要求。本发明的一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置包括支撑单元、支撑盘和球形凸台，多组所述支撑单元在环形支撑盘上圆周均布；所述支撑单元包括V型块结构和柔性片体，所述V型块结构周向两端面分别通过多个柔性片体与所述支撑盘固定连接，光学元件一个端面上圆周均布多个球形凸台，多个球形凸台分别与多组支撑单元中的V型块结构配合接触，所述球形凸台与所述光学元件固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高精度 光学 元件 检测 柔性 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置，其特征在于，包括支撑单元(3)、支撑盘(2)和球形凸台(4)，多组所述支撑单元(3)在环形支撑盘(2)上圆周均布；所述支撑单元(3)包括V型块结构(301)和柔性片体(302)，所述V型块结构(301)周向两端面分别通过多个柔性片体(302)与所述支撑盘(2)固定连接，光学元件(1)一个端面上圆周均布多个球形凸台(4)，多个球形凸台(4)分别与多组支撑单元(3)中的V型块结构(301)配合接触，所述球形凸台(4)与所述光学元件(1)固定连接。
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