[发明专利]一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置在审

专利信息
申请号: 201510967159.5 申请日: 2015-12-21
公开(公告)号: CN105425389A 公开(公告)日: 2016-03-23
发明(设计)人: 王辉;周烽;郭本银;谢耀;王丽萍 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域,目的在于解决现有技术存在的装配过程中的干扰因素对面形影响严重,摩擦系数大,不能满足超高精度面形要求的问题。本发明包括凸台、n组主柔性支撑结构单元、n组辅助柔性支撑结构单元和支撑盘;2n个所述凸台圆周均布在光学元件侧壁上,光学元件侧壁上的2n个凸台分别通过n组主柔性支撑结构单元和n组辅助柔性支撑结构单元与支撑盘固定连接,所述n组主柔性支撑结构单元和n组辅助柔性支撑结构单元交错设置;所述主柔性支撑结构单元提供竖直方向和沿光学元件侧面切向方向的约束,所述辅助柔性支撑结构单元提供沿光学元件竖直方向的约束。
搜索关键词: 一种 可以 实现 主动 调整 多点 柔性 支撑 装置
【主权项】:
一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置,其特征在于,包括凸台(2)、n组主柔性支撑结构单元(3)、n组辅助柔性支撑结构单元(4)和支撑盘(5);2n个所述凸台(2)圆周均布在光学元件(1)侧壁上,光学元件(1)侧壁上的2n个凸台(2)分别通过n组主柔性支撑结构单元(3)和n组辅助柔性支撑结构单元(4)与支撑盘(5)固定连接,所述n组主柔性支撑结构单元(3)和n组辅助柔性支撑结构单元(4)交错设置;所述主柔性支撑结构单元(3)提供竖直方向和沿光学元件(1)侧面切向方向的约束,所述辅助柔性支撑结构单元(4)提供沿光学元件(1)竖直方向的约束。
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