[发明专利]一种位移可调节精密定位平台

摘要

本发明公开了一种位移可调节精密定位平台，包括：底座；手动可调架滑台平台，可通过交叉旋转导轨实现三自由度的精密定位调节；平台垫块，通过均匀分布的四个螺纹孔安装在所述滑台上；柔顺铰链精密定位平台，其中间通过两个螺纹孔固定在平台垫块上从而使平台能够随手动可调架滑台平台实现X轴和Y轴方向位移；四块电磁衔铁，其通过螺纹连接固定在柔顺铰链精密定位平台的四个方位上；两块Z轴直角转接板，其上通过螺纹连接与平台底座相接；电磁驱动器作为平台的驱动设备，其通过螺纹连接与Z轴直角转接板相接从而与平台底座连接。本发明提供的位移可调节精密定位平台结构简单，整体尺寸小，成本低，操作方便，可实现高精度的定位要求。

主权项

一种位移可调节精密定位平台，其特征在于，包括:起支承和保护作用的底座（1），其通过四周均匀分布的螺纹孔安装在精密光学隔振平台上；通过交叉旋转导轨实现X轴Y轴位移和R轴旋转三个自由度方向上微调的手动可调架滑台平台（2），所述手动可调架滑台平台（2）通过底部均匀分布的四个沉头螺钉与底座（1）固接，其工作台面上均匀分布若干个螺纹孔；平台垫块（8），被安装在可调架位移滑台平台（2）上的平台工作面（14）上，支承柔顺铰链精密定位平台（11），且具有用于安装柔顺铰链精密定位平台（11）的螺纹孔；柔顺铰链精密定位平台（11），在电磁驱动器（9）的驱动左右下可实现X轴Y轴两自由度方向上的位移，其通过螺纹连接安装在所述平台垫块（8）上；四块电磁衔铁（10），其通过螺纹连接对称安装在所述柔顺铰链精密定位平台（11）的四个方位上；起支承和转接作用的Z轴直角转接板（13），其通过底部螺钉和底座上的定位块（12）固定在所述平台底座（1）上；作为整个平台的驱动设备的电磁驱动器（9），其通过螺纹连接安装在所述Z轴直角转接板（13）上，正对所述电磁衔铁（10）。