[发明专利]一种掩膜板及其制备方法

摘要

本发明所述的一种掩膜板，包括层叠设置的骨架层、粘合剂层以及石墨烯层；骨架层、粘合剂层、石墨烯层中分别开设有若干贯通的第一开口、第二开口、第三开口；第一开口、第二开口、第三开口在垂直于掩膜板所在平面方向上贯通设置。石墨烯层通过粘合剂层粘附在骨架层上，质量轻、强度大、原料成本低，使用及清洗过程中不易损坏，有效降低了掩膜板的使用成本。掩膜板的开口大小由第三开口控制，开口面积大、定位精确、分辨率高。本发明所述的掩膜板的制备方法，石墨烯层通过压合工艺形成在粘合剂层上，第一开口通过刻蚀工艺或者电铸工艺形成，第二开口通过光刻工艺形成，工艺简单、精度要求低，有效降低了生产成本。

主权项

1.一种掩膜板，其特征在于，包括层叠设置的骨架层(1)、粘合剂层(2)以及石墨烯层(3)；所述骨架层(1)中开设有若干贯通的第一开口(4)，所述粘合剂层(2)中开设有若干贯通的第二开口(5)，所述石墨烯层(3)中开设有若干贯通的第三开口(6)；所述第一开口(4)、所述第二开口(5)、所述第三开口(6)在垂直于所述掩膜板所在平面方向上贯通设置，所述第一开口(4)的开口面积大于等于所述第二开口(5)的开口面积，所述第二开口(5)的开口面积大于所述第三开口(6)的开口面积。