[发明专利]一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构有效
申请号: | 201510977191.1 | 申请日: | 2015-12-23 |
公开(公告)号: | CN105428321B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 张崤君 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L23/10 | 分类号: | H01L23/10;H01L23/373;H01L21/52 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 王占华 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及大规模集成电路陶瓷外壳技术领域,尤其涉及芯片倒装用陶瓷焊盘阵列外壳,具体公开了一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,内部多层布线的陶瓷基板钎焊金属封口环,倒装安装芯片后,再将散热盖板采用平行缝焊的方式与金属封口环焊接,完成封装,对芯片形成气密性保护,并为芯片提供散热通道,基板两侧分别设有互联的焊盘,用于芯片I/O和外部引出连接。本发明能够同时满足气密性和芯片散热需要,具有机械可靠性高、散热性能优良、高气密性的优点,能够用于高引出端数大规模集成电路封装。 | ||
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【主权项】:
1.一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,包括陶瓷基板(1)和散热盖板(3),所述基板(1)在与芯片安装区域对应排布栅格形式的芯片倒装安装焊盘,用于与芯片输入/输出端口连接,所述基板(1)的另一侧排布植球或植柱焊盘作为外部引出端,所述基板(1)内部为多层布线结构,能够实现芯片输入/输出端口与外部引出端互联,所述盖板(3)的中部设有热沉,用于与芯片背面粘接,其特征在于:还包括金属封口环(2),其位于基板(1)和盖板(3)之间,对基板(1)和盖板(3)气密性封闭连接,芯片安装于所述封口环(2)内部;金属封口环(2)与陶瓷基板(1)钎焊连接,金属封口环(2)的上端通过平行缝焊方式与散热盖板(3)焊接;盖板的四边侧面底部设有矩形缺口,金属封口环包括环体,环体的底部与基板纤焊连接,环体的上部向环内伸出形成伸出部,伸出部的前段位于盖板的矩形缺口处,且其顶面与盖板矩形缺口底面构成平面接触,伸出部的前段与盖板焊接,伸出部的前段在矩形缺口内与该缺口侧面留有间隙;伸出部的前段厚度大于伸出部的后段厚度。
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