[发明专利]与经外涂布的光致抗蚀剂一起使用的涂层组合物有效
| 申请号： | 201510980497.2 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105739236B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | S-J·李;J·姜;D-J·洪 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆蔚;陈哲锋 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
提供有机涂层组合物，尤其与经外涂布的光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂层组合物，其包含包含式(I)的表面剂。 |
||
| 搜索关键词： | 经外涂布 光致抗蚀剂 一起 使用 涂层 组合 | ||
【主权项】：
一种用于形成光致抗蚀剂凸纹图像的方法，其包含：a)在衬底上涂覆涂层组合物层，所述涂层组合物包含1)基质聚合物；和2)表面能控制剂；b)在所述涂层组合物层上方涂覆光致抗蚀剂组合物层，其中所述表面能控制剂包含对应于下式(I)的结构：![]()
其中A和B各自独立地是氢、任选地被取代的烷基或任选地被取代的芳基；X和Y各自独立地是氢、任选地被取代的烷基或任选地被取代的碳环芳基；并且n是正整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料韩国有限公司，未经罗门哈斯电子材料韩国有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510980497.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
