[发明专利]传感器模块以及传感器模块的制造方法有效
申请号: | 201510982231.1 | 申请日: | 2015-12-24 |
公开(公告)号: | CN105742371B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 羽田幸彦;宫下香织;武田英嗣 | 申请(专利权)人: | 长野计器株式会社 |
主分类号: | H01L29/84 | 分类号: | H01L29/84;G01L9/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 秦琳;陈岚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及传感器模块以及传感器模块的制造方法。形成在隔板部的平面部的检测部具有多个应变仪、分别连接在应变仪之中相邻的应变仪之间的电阻元件连接部、以及覆盖电阻元件连接部的一部分的到导电体部,电阻元件连接部之中的从导电体部露出的第一直线部分和第二直线部分与导电体部的横穿第一直线部分和第二直线部分的边正交。即使在电阻元件连接部和导电体部产生沿着X方向或Y方向的图案偏离,电阻元件连接部之中的从导电体部露出的部分的面积也不会发生变化。 | ||
搜索关键词: | 传感器 模块 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种传感器模块,其特征在于,具备:隔板部;以及检测部,形成在所述隔板部的平面部并且对压力进行检测,所述检测部具有:多个应变仪,对应变量进行检测;电阻元件连接部,分别连接在所述应变仪之中相邻的应变仪之间;以及导电体部,覆盖所述电阻元件连接部的一部分,所述电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的直线部分与所述导电体部的横穿所述直线部分的边正交。
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