[发明专利]抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法有效
| 申请号： | 201510993732.X | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN105506561B | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 孙刚;刘星;马国佳;崔向中 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩嫚嫚 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其包括如下步骤：a)布置电极片：在叶片的外边缘设置电极片，电极片与叶片的外边缘具有一距离；b)叶片装卡：将叶片及电极片放入真空室内，真空室内设置有电弧靶，真空室内填充有第一气体；c)沉积耐冲蚀涂层：对叶片及电极片通入第一偏压，对电弧靶通入第一电流，电弧靶分离出金属离子，第一气体分离出第一离子，金属离子与第一离子结合后沉积于叶片的外表面。本发明的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，通过在叶片沉积时，于叶片两旁布置辅助同电势电极片以抑制叶片的边缘效应，实现叶片边缘部位涂层结合力以及涂层厚度均匀性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 抑制 叶片 冲蚀 涂层 制备 过程 边缘 效应 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，其包括如下步骤：a)布置电极片：在叶片的外边缘设置电极片，所述电极片与所述叶片的外边缘具有一距离；所述距离根据所述叶片的外边缘处的鞘层厚度确定；b)叶片装卡：将所述叶片及所述电极片放入真空室内，所述真空室内设置有电弧靶，所述真空室内填充有第一气体；c)沉积耐冲蚀涂层：对所述叶片及所述电极片通入第一偏压，对所述电弧靶通入第一电流，所述电弧靶分离出金属离子，所述第一气体分离出第一离子，所述金属离子与所述第一离子结合后沉积于所述叶片的外表面。
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