[发明专利]平板玻璃表面的异物检测装置

摘要

本发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置，包括：A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，该激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，该激光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部。本发明可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪一面进行准确检测。

主权项

一种平板玻璃表面的异物检测装置，对存在于透明的平板玻璃的A面以及B面上的异物进行检测，并且检测所述异物是否存在于所述A面以及所述B面，其中所述平板玻璃被移送以及因附着的所述异物而散射激光束，所述异物检测装置的特征在于包括：A面激光束照射装置，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射具有第1波长的S偏光的激光束至所述平板玻璃的所述A面上的区域S；A面摄像装置，对所述区域S进行拍摄；B面激光束照射装置，以所述平板玻璃的所述A面的法线向量为基准且以比所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面上的所述区域S而照射第2波长的激光束，被照射在所述区域S上的所述激光束的大部分在所述平板玻璃的厚度方向上透过，所述第2波长不同于所述第1波长；B面摄像装置，对将激光束照射至所述平板玻璃的B面上的所述区域S部位进行拍摄，所述激光束是从所述B面激光束照射装置透过至所述平板玻璃的B面；以及检测信号处理部，对从所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所输入的影像图像进行分析，利用所述异物的清晰度而对附着所述异物的面进行判别，其中所述异物的清晰度基于所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所拍摄已检测的所述异物的影像的分辨率，其中，所述A面激光束照射装置以及所述B面激光束照射装置皆设置于所述A面的上方，所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置接收散射的激光束，所述散射的激光束是被附着在所述A面与所述B面的异物所散射，其中，所述A面激光束照射装置位于第一侧并从所述第一侧照射，其中第一侧与所述平板玻璃的移送方向垂直，所述B面激光束照射装置位于第二侧并从所述第二侧照射，以所述A面的法线向量为基准，所述第二侧为所述第一侧的相对侧，其中，所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置皆垂直设置于所述区域S的上方，所述A面摄像装置设置在：来自所述A面激光束照射装置的激光束的反射光的光路之外，所述B面摄像装置设置在：来自所述B面激光束照射装置的激光束的反射光的光路之外。