[发明专利]一种激光光刻机控制系统及其光刻机在审
| 申请号： | 201510996944.3 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN105467778A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 殷庆纵;张宇峰;王栋 | 申请（专利权）人： | 苏州工业职业技术学院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 215104 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光光刻机控制系统及其光刻机，包括单片机、曝光控制电路、X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路和第二通信接口电路，所述第一单片机输入端连接X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连接。本发明采用了动态曝光、双向逐行扫描的工作方式，有效提高了光刻工作速度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光刻 控制系统 及其 | ||
【主权项】：
一种激光光刻机控制系统，其特征在于，包括单片机、曝光控制电路、X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路和第二通信接口电路，其中，所述第一单片机输入端连接X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连接。
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