[发明专利]一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法，该装备由上料装置、压合装置、加电鼓泡预剥离装置、加电剥离装置、水冲洗装置、吹干装置和收卷装置组成；上述装置依次顺序排布，并通过导向辊调整方向连接。所涉及的转移方法为在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层，烘干收卷后安放到转移装备上，通过压合装置加压加热方式与目标基底压合，继而通过加电鼓泡预剥离装置使石墨烯与生长基底铜箔预分离，再经过加电剥离装置使生长基底铜箔与石墨烯彻底分离，最后用去离子水冲洗、吹干并收卷完成转移。本发明中的转移装备结构紧凑，与转移方法配合使用可实现石墨烯薄膜的“卷对卷”式快速、高效及高质量转移。

主权项

一种石墨烯“卷对卷”转移装备，其特征在于，该装备由上料装置(001)、压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排布，并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动施压辊，在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包括数对主动施压辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对主动施压辊，加压同时可以加电。