[发明专利]平面内振动梁加速度计

摘要

平面内振动梁加速度计。描述了包括悬垂的检验质量，支撑基座，弯曲部和至少两个谐振器的设备。支撑基座定义了平面并支撑悬垂的检验质量。弯曲部灵活地将悬垂的检验质量连接到支撑基座，在支撑基座内悬挂悬垂的检验质量，并响应于设备的加速度，悬垂的检验质量在由支撑基座定义的平面中绕弯曲部旋转。该至少两个谐振器灵活地将悬垂的检验质量连接到支撑基座，并基于悬垂的检验质量绕弯曲部的旋转而弯曲，其中，至少两个谐振器中的每个以相应的谐振频率谐振。

主权项

1.一种用于加速度计的设备，包括：悬垂的检验质量；支撑基座，其定义了平面并被配置成支撑悬垂的检验质量；弯曲部，被配置成灵活地将悬垂的检验质量连接到支撑基座，其中弯曲部在支撑基座内悬挂悬垂的检验质量，并且其中，响应于在由支撑基座定义的平面中的设备的加速度，悬垂的检验质量在由支撑基座定义的平面中绕弯曲部旋转；和至少两个谐振器，被配置成灵活地将悬垂的检验质量连接到支撑基座，并基于悬垂的检验质量绕弯曲部的旋转而弯曲，其中至少两个谐振器中的每个以相应的谐振频率谐振，其中悬垂的检验质量、支撑基座、弯曲部和至少两个谐振器由单片材料构成，并且其中悬垂的检验质量、弯曲部和至少两个谐振器是平面的。