[发明专利]一种全自动表面处理机在审
| 申请号： | 201511011644.1 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105478415A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 解俊杰;沈沪江;袁慧慧;杨松旺;李勇明;刘岩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;B05C5/00;B05C11/08 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种全自动表面处理机，包括：设备平台；设置于所述设备平台上的样品支架、样品等离子清洗台、样品旋涂台、及样品下料机构；用于对载置于所述样品等离子清洗台上的样品进行清洗的等离子清洗机构；用于对载置于所述样品旋涂台上的样品进行旋涂表面处理的旋涂滴胶机构；和配置为将载置于所述样品支架上的样品依次输送至所述样品等离子清洗台、样品旋涂台、及样品下料机构的机械手。本发明能够集等离子体清洁和表面旋涂预处理功能于一身、自动上料、自动下料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 表面 处理机 | ||
【主权项】：
一种全自动表面处理机，其特征在于，包括：设备平台；设置于所述设备平台上的样品支架、样品等离子清洗台、样品旋涂台、及样品下料机构；用于对载置于所述样品等离子清洗台上的样品进行清洗的等离子清洗机构；用于对载置于所述样品旋涂台上的样品进行旋涂表面处理的旋涂滴胶机构；和配置为将载置于所述样品支架上的样品依次输送至所述样品等离子清洗台、样品旋涂台、及样品下料机构的机械手。
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