[发明专利]一种光刻机的快门叶片有效
| 申请号： | 201511022925.7 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106933041B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈梦来;刘国淦;章富平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机的快门叶片，快门叶片接受光源照射的一面设有用于增大照射光的反射光线与水平线的夹角的光路转换件。通过设置光路转换件，使快门叶片上形成底部具有V形或倒V形斜坡的环形凹槽或条形凹槽，以及表面呈弧形的球形凸起，使照射在快门叶片表面的光线在经快门叶片反射后远离灯室的保护玻璃，以减少反射光线进入灯室，从而使位于灯室顶部的能量传感器能稳定工作，实现精密控制曝光剂量的目的。此外，设置V形或倒V形斜坡还具有增大散热面积，减少快门叶片的热量吸热，提高其使用寿命的效果；而设置球形凸起增加了快门叶片的强度，缓解反射光过于集中导致的局部温度过高的现象，进一步提高了快门叶片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 快门 叶片 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的快门叶片，用于光刻机的曝光系统中，其特征在于，所述快门叶片接受光源照射的一面设有用于增大照射光的反射光线与水平线的夹角的光路转换件；/n所述光路转换件为若干环形凹槽，所述环形凹槽底面设有V形或倒V形斜坡；或者，所述光路转换件为若干条形凹槽，所述条形凹槽底面设有V形或倒V形斜坡；或者，所述光路转换件为若干球形凸起，使照射在快门叶片表面的光线在经快门叶片反射后远离灯室的保护玻璃。/n
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