[发明专利]低温多晶硅薄膜晶体管用玻璃基板的组合物、玻璃基板及制备方法和应用有效
| 申请号： | 201511023699.4 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105502931B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李俊锋;胡恒广;王丽红;闫冬成;张广涛 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | C03C3/093 | 分类号： | C03C3/093 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;刘兵 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温多晶硅薄膜晶体管用玻璃基板的组合物、玻璃基板及制备方法和应用。该组合物包括：以该组合物的总重量为基准，60～70重量％的SiO2，6～10.5重量％的Al2O3，8～13重量％的B2O3，5～11重量％的MgO，3～9重量％的CaO，2～5重量％的SrO，1～3重量％的ZrO2和0.5～1.5重量％的SnO2。采用本发明提供的低温多晶硅薄膜晶体管用玻璃基板的组合物可以制备得到热收缩率小的玻璃基板，适合应用于用作液晶显示器或平面显示器的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 多晶 薄膜 晶体 管用 玻璃 组合 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板，所述玻璃基板的厚度为0.3mm～0.7mm，所述玻璃基板在600℃下15min热处理后的热收缩率为13.8ppm～18.3ppm；所述玻璃基板的应变点为725～749℃；所述玻璃基板的膨胀系数为31.3×10‑7/℃～35.9×10‑7/℃；所述玻璃基板的弹性模量为81.2GPa～83.9GPa；该玻璃基板由以下组合物制得：以该组合物的总重量为基准，该组合物包括60～70重量％的SiO2，6～9重量％的Al2O3，8～10.1重量％的B2O3，5～10重量％的MgO，3～8重量％的CaO，2～4.5重量％的SrO，1～2.8重量％的ZrO2和0.5～1.5重量％的SnO2。
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