[发明专利]一种脉冲展宽装置、脉冲展宽激光退火装置及退火方法在审
| 申请号： | 201511025468.7 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106936062A | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 徐建旭;李天鹏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;H01L21/67;H01L21/268;H01L21/324 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种脉冲展宽装置，包括分光镜组件，用于将激光束分为不同光束；光线延迟单元，用于延长所述光束的路径；光束整合组件，用于整合光束，使不同光束路线重合。本发明还公开一种脉冲展宽激光退火装置和退火方法。本发明公开的脉冲展宽装置通过改变入射光的有效空间跨度以及入射角度，改变脉冲在时间上的分布,可以实现多个各光束脉冲的叠加，实现多倍光束自身脉宽的展宽，在激光脉宽展宽的过程中，能量无损耗，且能量均匀分布。脉冲展宽调整方式灵活、可连续调控，展宽效果明显，占用空间小，脉冲展宽激光退火装置的能量密度、脉冲宽度和激光脉冲之间的延时可以实现在线、连续较大的调整量，使退火方法适用于不同的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 展宽 装置 激光 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种脉冲展宽装置，其特征在于，包括分光镜组件，用于将激光束分为不同光束；光线延迟单元，用于延长所述光束的路径；光束整合组件，用于整合光束，使不同光束路线重合；所述分光镜组件、所述光线延迟单元和所述光束整合组件数量相同；所述分光镜组件将入射光分为不同光束，所述光线延迟单元延长其中一束所述光束的路径；所述光束整合组件整合路径被延长的光束和路径未被延长的光束，使路径被延长的光束与路径未被延长的光束路线重合。
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