[发明专利]一种自修整磁流变柔性抛光砂轮及其磨抛方法

摘要

本发明涉及一种自修整磁流变柔性抛光砂轮及其磨抛方法，包括固定环、内齿轮、砂轮环、齿轮轴、同步旋转齿轮、行星齿轮、旋转轴和圆柱体永磁铁，旋转轴装设在砂轮环内，圆柱体永磁铁装设在旋转轴下端所设的通孔内，内齿轮装设在砂轮环的上部，固定环装设在内齿轮的顶部，固定环固定在机床上，砂轮接口装设在砂轮环及固定环的顶部，砂轮接口与砂轮环连接，砂轮接口上设有外齿轮，齿轮轴装设在砂轮接口上，行星齿轮装设在齿轮轴上，同步旋转齿轮装设在旋转轴上端，行星齿轮与砂轮接口所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮及行星齿轮与内齿轮啮合。本发明实现磨料更新自锐和砂轮块形状的实时恢复，适合光电子/微电子基片和光学元件的平面高效超光滑均匀磨削抛光加工。

主权项

一种自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于包括有固定环（1）、内齿轮（3）、砂轮环（8）、齿轮轴（11）、同步旋转齿轮（17）、行星齿轮（18）、旋转轴（25）和圆柱体永磁铁（26），其中旋转轴（25）装设在砂轮环（8）内，圆柱体永磁铁（26）装设在旋转轴（25）下端所设的通孔内，内齿轮（3）装设在砂轮环（8）的上部，固定环（1）装设在内齿轮（3）的顶部，且固定环（1）固定在机床上，砂轮接口（13）装设在砂轮环（8）及固定环（1）的顶部，砂轮接口（13）与砂轮环（8）连接，砂轮接口（13）上设有外齿轮，齿轮轴（11）装设在固定环（1）上，行星齿轮（18）装设在齿轮轴（11）上，同步旋转齿轮（17）装设在旋转轴（25）的上端，行星齿轮（18）与砂轮接口（13）所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮（17）及行星齿轮（18）与内齿轮（3）啮合。