[发明专利]一种暗场照明装置及表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201511025773.6 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106932399B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 梁海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种暗场照明装置及表面缺陷检测装置，其中，所述暗场照明装置包括光源、光传导匀化结构、固定件及装置固定架，所述光传导匀化结构包括入射端、传导段和若干出射端，所述光源发出的光入射到所述入射端端面，经所述传导段后从若干所述出射端倾斜于待测试平面射出，若干所述出射端构成环形，并通过所述固定件固定在所述装置固定架上，所述光传导匀化结构为一体式注塑结构。本发明采用的光传导匀化结构为一体式注塑结构，光源发出的光在其中进行传导时发生全反射，各个方向的全反射对光进行匀化，提高了暗场照明装置的照明均匀性，同时，一体式注塑结构具有接近100％的填充率，一体式注塑结构简单，易于制造和装配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 暗场 照明 装置 表面 缺陷 检测 | ||
【主权项】：
一种暗场照明装置，其特征在于，包括光源、光传导匀化结构、固定件及装置固定架，所述光传导匀化结构包括入射端、传导段和若干出射端，所述光源发出的光入射到所述入射端端面，经所述传导段后从若干所述出射端倾斜于待测试平面射出，若干所述出射端构成环形，并通过所述固定件固定在所述装置固定架上，所述光传导匀化结构为一体式注塑结构。
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