[发明专利]一种光栅测量系统

摘要

本发明公开了一种光栅测量系统，包括测量装置和光栅，所述测量装置设置有测量光束和参考光束，所述测量光束沿光束传播方向，依次经过光源、分光单元、所述光栅、第一回射单元、所述光栅、所述分光单元后，入射至信号接收单元，所述参考光束沿光束传播方向，依次经过光源、所述分光单元、扩束单元、第二回射单元、所述分光单元入射至所述信号接收单元。本发明采用扩束元件对第二光束即参考光束进行扩束，增大参考光束的直径尺寸，使第一光束即测量光束能够偏移更大距离，参考光束与测量光束能够部分重合产生被探测器探测的干涉光信号，在测量光束偏移更大距离的情况下光栅测量系统依然能正常工作，从而实现大行程光栅尺测量。

主权项

一种光栅测量系统，包括测量装置和光栅，其特征在于,所述测量装置设置有测量光束和参考光束，所述测量光束沿光束传播方向，依次经过光源、分光单元、所述光栅、第一回射单元、所述光栅、所述分光单元后，入射至信号接收单元，所述参考光束沿光束传播方向，依次经过光源、所述分光单元、扩束单元、第二回射单元、所述分光单元入射至所述信号接收单元。