[发明专利]一种氧化亚铜单晶薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201511025986.9 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105525349B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王晓峰;李丽娟;霍自强;王军喜;李晋闽;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B25/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化亚铜薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1，将铜源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开铜源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应管，反应舟的出口正对衬底表面；步骤4，打开氧源气路，让惰性气体携带氧源进入石英反应管；步骤5，加热石英反应管，加热石英反应管内的反应舟和衬底；步骤6，调节反应舟和衬底的工作温度，设定生长时间，在衬底上沉积氧化亚铜薄膜，完成制备。利用本发明的方法，能够大大降低氧化亚铜薄膜的制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化亚铜 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化亚铜薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，将铜源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内，所述衬底为蓝宝石或硅衬底；步骤3，打开铜源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应管，反应舟的出口正对衬底表面，反应舟的出口距离衬底表面0.5cm‑5cm；步骤4，打开氧源气路，让惰性气体携带氧源进入石英反应管，所述氧源为多种含氧气体的混合气体，含氧气体包括氧气、水蒸气、一氧化二氮、一氧化氮或二氧化氮；步骤5，加热石英反应管，加热石英反应管内的反应舟和衬底；步骤6，调节反应舟和衬底的工作温度，设定生长时间，在衬底上沉积氧化亚铜薄膜，完成制备；其中所述反应舟的温度为650℃、700℃或850℃；其中，所述的铜源为碘化亚铜。
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