[发明专利]一种光刻机同步控制系统及方法有效
| 申请号： | 201511026460.2 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106933050B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 方欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机同步控制系统及方法，所述光刻机同步控制系统包括干涉仪分系统和外部分系统，所述干涉仪分系统包括通过同步总线连接的同步控制卡、多通道光纤卡及干涉仪计数卡，所述同步控制卡通过外同步通道与所述外部分系统连接，所述多通道光纤卡通过光纤通道与所述外部分系统连接。本发明提供的技术方案，通过将干涉仪分系统和工件台掩模台分系统的硬件解耦，使干涉仪分系统的同步控制卡可以连接更多的测量轴和外部分系统，增加了干涉仪分系统以及工件台掩模台分系统的扩展性。通过提供格式和接口标准统一的外同步通道，实现外部分系统的扩展，提高了同步控制系统的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 同步 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机同步控制系统，其特征在于，包括干涉仪分系统和外部分系统，所述外部分系统包括工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统，所述干涉仪分系统包括通过同步总线连接的同步控制卡、多通道光纤卡及干涉仪计数卡，所述同步控制卡通过外同步通道分别与工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统连接；所述多通道光纤卡通过光纤通道分别与工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统连接。
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