[发明专利]一种具有重叠垂直桥腿的非制冷红外焦平面阵列探测器在审
| 申请号： | 201511027901.0 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105486412A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 黄立;曾国胜;高健飞;马占锋 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军;张瑾 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有重叠垂直桥腿的非制冷红外焦平面阵列探测器，包括桥层和对应桥层下方设置的衬底以及设在读出电路上的锚柱，衬底为矩形，其两斜对角具有缩进部，在缩进部设有读出电路，桥层具有桥面及其两斜对角向外侧延伸且向下重叠弯折垂直的桥腿，在桥面的另两斜对角，相对于缩进部设有凹进部，凹进部与缩进部呈上下对应，使得桥腿抵接衬底时向锚柱延伸且与锚柱接接，桥层在其斜对应的两桥腿支撑下，使得桥面与衬底形成有真空间隙层，藉由前述构造，解决了提升灵敏度、降低热量损失的技术问题，达成了提高了整体产品性能的良好效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 重叠 垂直 制冷 红外 平面 阵列 探测器 | ||
【主权项】：
一种具有重叠垂直桥腿的非制冷红外焦平面阵列探测器，包括桥层和对应桥层下方设置的衬底以及设在读出电路上的锚柱，其特征在于：衬底为矩形，其两斜对角具有缩进部，在缩进部设有读出电路，桥层具有桥面及其两斜对角向外侧延伸且向下重叠弯折垂直的桥腿，在桥面的另两斜对角，相对于缩进部设有凹进部，凹进部与缩进部呈上下对应，使得桥腿抵接衬底时向锚柱延伸且与锚柱接接，桥层在其斜对应的两桥腿支撑下，使得桥面与衬底形成有真空间隙层。
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