[发明专利]半自动芯片裂片机及裂片方法有效
申请号: | 201511029695.7 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN105590884B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 陈洋 | 申请(专利权)人: | 天津天物金佰微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/78 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 李莉华 |
地址: | 300385 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种半自动芯片裂片机及裂片方法,包括设备底座、旋转承片台、活动龙门架、导轨、电机、传动机构和电气控制部;所述旋转承片台包括回转气缸、角度微调滑台和吸盘,所述角度微调滑台设置在回转气缸上,所述吸盘安装在所述角度微调滑台上,所述活动龙门架包括框架、单作用气缸、轧辊、螺旋微测器、轴承及导轨滑块组成,所述导轨滑块装配于导轨上,所述传动机构包括皮带和皮带轮,所述传动机构连接电机和框架,所述传动机构和电机使得活动龙门架在裂片过程中相对旋转承片台运动。本发明所述的半自动化机构可以改善芯片的受力状态,保证滚压方向准直,通过螺旋微测器调整轧辊,稳定下压高度和下压力,避免突变和不一致。 | ||
搜索关键词: | 活动龙门 角度微调 承片台 吸盘 轧辊 导轨滑块 回转气缸 芯片 裂片机 测器 导轨 滑台 裂片 电机 滚压 半自动化机构 单作用气缸 电气控制部 连接电机 裂片过程 设备底座 受力状态 相对旋转 不一致 皮带轮 下压力 下压 准直 皮带 轴承 突变 装配 保证 | ||
【主权项】:
1.半自动芯片裂片机,其特征在于:包括设备底座(1)、旋转承片台(2)、活动龙门架(3)、导轨、电机(4)、传动机构(5)和电气控制部;其中,所述旋转承片台(2)、活动龙门架(3)、导轨、电机(4)、传动机构(5)和电气控制部安装在设备底座(1)上,所述活动龙门架(3)通过传动机构(5)、导轨与电机(4)连接;所述旋转承片台(2)包括回转气缸(6)、角度微调滑台(7)和吸盘(8),所述角度微调滑台(7)设置在回转气缸(6)上,所述吸盘(8)安装在所述角度微调滑台(7)上,所述吸盘(8)用于吸着芯片并保证芯片在裂片过程中轧辊(10)滚压过程中不会发生位移,回转气缸(6)带动旋转承片台(2)旋转90°并确保两次滚压的垂直角度一致和准确,角度微调滑台(7)用于调整芯片放置的水平角度以补偿手工放置导致的误差;所述活动龙门架(3)包括框架、单作用气缸(9)、轧辊(10)、螺旋微测器(11)、轴承(12)及导轨滑块(13)组成,所述导轨滑块(13)装配于导轨上,单作用气缸(9)配合减压阀用于调整轧辊(10)对芯片施加向下的压力,螺旋微测器(11)安装在单作用气缸(9)两侧,用于调整轧辊(10)下压高度和水平角度;所述传动机构(5)包括皮带和皮带轮,所述传动机构(5)连接电机(4)和框架,所述传动机构(5)和电机使得活动龙门架(3)在裂片过程中相对旋转承片台(2)运动,并保证活动龙门架(3)在裂片过程中相对旋转承片台(2)运动的速度和位置的准确性;所述电气控制部包括龙门架控制部、轧辊控制部和承片台控制部,所述龙门架控制部包括继电器、电机调速器和接近开关,用于控制活动龙门架(3)的运动方向和运动速度,所述轧辊控制部包括减压阀,用于控制轧辊(10)的下压力,所述承片台控制部包括电磁阀、减压阀,用于控制旋转承片台(2)的旋转角度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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