[发明专利]一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置，包括，固体原料盛放装置；置于所述固体原料盛放装置顶部的盖板；所述盖板上设置有气流孔；具有至少两个以上纵向设置的沉积室的沉积机构；所述沉积机构设置于所述盖板顶部，所述盖板作为沉积机构的底板；所述沉积室之间设置有隔板，所述隔板上设置有气流孔；位于沉积室上方的收尘室；所述收尘室底部通过收尘通道与最上方的沉积室相连通。本发明在沉积室增加隔板，将整个腔室进行分割，使不同腔室里面沉积的产品的厚度更加均匀，呈现梯度性，提高了产品的转换率，大大的提高了后续的加工效率，降低加工难度，提高产品的整体利用率，有效的解决了大尺寸沉积腔室沉积过程中存在厚度不均匀的问题。

主权项

1.一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置，其特征在于，包括，固体原料盛放装置；置于所述固体原料盛放装置顶部的盖板；所述盖板上设置有气流孔；具有至少两个以上纵向设置的沉积室的沉积机构；所述沉积机构设置于所述盖板顶部，所述盖板作为沉积机构的底板；所述沉积室之间设置有隔板，所述隔板上设置有气流孔；所述盖板上的气流孔与相邻的隔板上的气流孔交错设置；任意两个相邻隔板上的气流孔交错设置；位于沉积室上方的收尘室；所述收尘室底部通过收尘通道与最上方的沉积室相连通；所述收尘通道的横截面积小于收尘室底部的面积。