[发明专利]通过喷射工艺在光学有源器件之上形成微透镜的方法有效
申请号: | 201511035968.9 | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN105717560A | 公开(公告)日: | 2016-06-29 |
发明(设计)人: | H·于;J·阮;D·帕雷克;M·程;C-Y·郭;W·姜 | 申请(专利权)人: | 柯斯美技术有限公司 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 王丽军 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 这里公开了一种光学装置的制造方法,例如光电二极管或者垂直腔面发射激光器(VCSEL)。该方法要求在基板内形成有源器件,在有源器件之上形成表面活性剂层;在有源器件紧上方的表面活性剂层之上喷射微透镜材料,以及固化已喷射的微透镜材料以在有源器件之上的表面活性剂层之上形成微透镜,使得有源器件能够经由该微透镜接收或者发射光信号。喷墨式印刷装置可用来在有源器件之上喷射该微透镜材料。 | ||
搜索关键词: | 通过 喷射 工艺 光学 有源 器件 之上 形成 透镜 方法 | ||
【主权项】:
一种制造光学装置的方法,包括:在基板内形成有源器件;以及喷射微透镜材料以在有源器件之上形成微透镜,使得有源器件能够经由微透镜接收或者发射光信号。
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