[实用新型]一种零颗粒缺陷传输腔

摘要

本实用新型提供一种零颗粒缺陷传输腔，通过将晶圆表面颗粒清除的作用直接集成在传输腔中，无需增加新的机台，从而使得操作简单并且成本低廉；同时由于省去了将晶圆传输至洗刷机台的操作，使得晶圆表面颗粒清除的耗时得以减小；此外，由于可以选择在单一机台上也可以在每个工序的机台上都进行安装，具有灵活性好的优点；另外，因为不需要额外新增加机台，从而使得工艺风险小，即使一个机台传输腔受到污染，也只会影响经过此台传输腔的晶圆产品，并会影响到生产线上其他工序产品。

主权项

一种零颗粒缺陷传输腔，其特征在于，包括：传输腔体，所述传输腔体的顶部和底部分别设置有第一开口和第二开口，所述第二开口位于所述第一开口的正下方；第一抽气泵，设置于所述第一开口处，所述第一抽气泵的泵口向下；载物台，设置于所述传输腔体内，且所述载物台的中央位置设有若干通孔；第一导管，设置于所述若干通孔的正下方，所述第一导管的两端分别与所述载物台和所述第二开口密封连接；以及第二抽气泵，设置于所述第二开口处，所述第二抽气泵的泵口向上。