[实用新型]一种钴酸锂高密度旋转靶材有效
| 申请号： | 201520014670.9 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN204417583U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高密度钴酸锂旋转靶材，包括由外至内依次设置的高温烧结而成的高密度钴酸锂旋转圆柱靶管、邦定层和刚性芯杆，所述靶管和刚性芯杆通过所述邦定层浇铸粘接在所述刚性芯杆上，所述靶管成分为LiCoO2，密度为4.95g/cm3，相对密度不小于95％，厚度为5-15mm,所述邦定层为熔点低于350℃的金属，所述刚性芯杆为金属芯杆，本实用新型解决了现有平面钴酸锂靶材利用率低，喷涂靶密度低及其性能不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钴酸锂 高密度 旋转 | ||
【主权项】：
一种钴酸锂高密度旋转靶材，其特征在于：包括由外至内依次设置的高温烧结而成的高密度钴酸锂陶瓷旋转圆柱靶管、邦定层和刚性芯杆，所述靶管通过所述邦定层浇铸粘接在所述刚性芯杆上，所述靶管成分为LiCoO2，密度为4.95g/cm3，相对密度不小于95％，厚度为5‑15mm，所述邦定层为熔点低于350℃的金属，所述刚性芯杆为金属芯杆。
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