[实用新型]光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置有效
| 申请号： | 201520028532.6 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN204347432U | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;汪曦凌;伍银辉 | 申请（专利权）人： | 安徽安芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 247100 安徽省池州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种光刻胶涂布吸头和光刻胶涂布装置，所述光刻胶涂布吸头的形状为凸台型，包括：底盘和位于底盘上表面，且与底盘固定连接的托盘，其中，所述托盘的直径小于待涂布晶圆的直径，用于放置待涂布晶圆，所述底盘的直径等于待涂布晶圆的直径，用于对所述待涂布晶圆的放置位置进行定位。由此可见，本实用新型实施例所提供的光刻胶涂布吸头在用于光刻胶涂布时，可以利用所述底盘，通过目视的方式对待涂布晶圆的放置位置进行定位，从而解决了现有技术中涂布时不能通过目视的方式，将晶圆的中心和涂布吸头的中心重合，使得在光刻胶涂布时，因甩胶过程中各个位置离心力不均匀而导致光刻胶涂布不均匀，产生边缘锯齿等现象的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 胶涂布 吸头 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶涂布吸头，其特征在于，所述光刻胶涂布吸头的形状为凸台型，包括：底盘和位于所述底盘上表面，且与所述底盘固定连接的托盘，其中，所述托盘的直径小于待涂布晶圆的直径，用于放置待涂布晶圆，所述底盘的直径等于待涂布晶圆的直径，用于对所述待涂布晶圆的放置位置进行定位，且所述光刻胶涂布吸头中具有贯穿所述底盘和托盘的通孔。
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