[实用新型]带有防腐层的新型PECVD沉积槽

摘要

本实用新型提供一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽，包括沉积槽本体、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层与等离子层，在喷砂层与沉积槽本体的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层，矿脂防腐层由矿脂底漆层、矿脂胶泥层、矿脂胶带层与外保护带四层复合构成。本实用新型通过在其顶部表面增加矿脂防腐层，从而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀，其中，矿脂底漆层能很好的降低沉积槽本体的粗糙度，并保证矿脂胶泥和沉积槽本体外表面能够紧密结合，并使得矿脂胶泥能很好的涂覆、填充在凹凸不平的工件表面，找平工件，密封性好；PVC外保护带能很好的保护内部的矿脂胶泥及矿脂胶带，从而形成一个密封的防腐整体。

主权项

一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽，包括沉积槽本体(1)、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层(2)与等离子层(3)，其特征在于，在所述喷砂层(2)与所述沉积槽本体(1)的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层(4)，所述矿脂防腐层(4)由所述矿脂底漆层(41)、矿脂胶泥层(42)、矿脂胶带层(43)与外保护带(44)四层复合构成。