[实用新型]一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统有效
| 申请号： | 201520032270.0 | 申请日： | 2015-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN204474786U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 明平美;毕向阳;张晓东;周维海;陈竞涛;杨文娟 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统，包括沉积槽、储液槽、过滤机和循环泵，其特征在于：还包括3个一进二出电磁阀和2个两进一出电磁阀。通过控制各个电磁阀，该电解液循环管路系统可以实现上液、换液、退液、过滤、储液槽电解液自循环和沉积槽电解液自循环等多种电解液循环回路的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沉积 工艺 电解液 循环 管路 系统 | ||
【主权项】：
一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统，包括沉积槽、储液槽、过滤机、循环泵，其特征在于：还包括3个一进二出电磁阀和2个两进一出电磁阀；所述的沉积槽、电磁阀I 、储液槽、电磁阀II、循环泵、电磁阀III、过滤机、电磁阀IV、电磁阀V和沉积槽通过管道依次连接；所述的电磁阀I还与电磁阀II 通过管道连接;所述的电磁阀III还与电磁阀IV通过管道连接；所述的电磁阀V还与储液槽通过管道连接。
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