[实用新型]基板加工设备及其基板感测装置有效
| 申请号： | 201520036727.5 | 申请日： | 2015-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN204453675U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 江昌隆;李喜全;劳浔 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G43/08 | 分类号： | B65G43/08 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板加工设备及其基板感测装置，基板感测装置包括：多个传感导正组件，位于基板两侧，各所述传感导正组件包括：传感器；连接部，连接至所述传感器；以及导杆，所述导杆的一端固定于所述连接部，另一端可绕所述连接部转动，其中，位于所述基板两侧的导杆可转动的一端抵住通过所述基板，使所述基板沿预定路线传送。本实用新型提供的基板加工设备及其基板感测装置能够有效地防止基板破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 设备 及其 基板感测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板感测装置，其特征在于，包括：多个传感导正组件，位于基板两侧，各所述传感导正组件包括：传感器；连接部，连接至所述传感器；以及导杆，所述导杆的一端固定于所述连接部，另一端可绕所述连接部转动，其中，位于所述基板两侧的导杆可转动的一端抵住所述基板，使所述基板沿预定路线传送。
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