[实用新型]基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统

摘要

本实用新型提供一种基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，属于微位移检测领域。观察显微摄像头，调整激光器位移平台使激光器发射出的激光束透过反应池上方照射到微悬臂梁尖端上，激光束经微悬臂梁反射后从反应池上方射出，射出的激光束分别经第一平面镜和第二平面镜反射后被光电探测器所接收，数据采集卡采集光电探测器的输出信号，计算机记录和处理数据采集卡上的输出信号。本实用新型采取显微摄像头放大微悬臂梁表面形貌，使激光对准微悬臂梁尖端的调节过程变得简单；利用在反应池外的多块平面镜将经微悬臂梁反射后的激光束再次进行反射，使得微悬臂梁的计算公式变得简单，检测更加便捷。

主权项

基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是所述系统包括激光器、激光器支架、激光器位移平台、显微摄像头、显微摄像头支架、反应池、反应池进口、反应池出口、蠕动泵、液缸、微悬臂梁、夹持台、透光装置、光电探测器、光电探测器支架、光电探测器位移平台、数据采集卡和计算机，激光器通过激光器支架安装在激光器位移平台上，激光器位移平台固定在反应池左侧正上方，显微摄像头通过显微摄像头支架安装在激光器位移平台右侧、微悬臂梁安装在夹持台上，透光装置安装在反应池右侧上方，透光装置上侧内壁上设置第一平面镜，透光装置下侧内壁上设置第二平面镜，所述第一平面镜与透光装置上侧内壁平行，所述第二平面镜固定于透光装置下侧内壁上的位移平台上，并与透光装置内壁平行，由激光器发射出的激光束透过反应池上方照射到微悬臂梁尖端上，激光束经微悬臂梁反射后从反应池上方射出，并分别经第一平面镜和第二平面镜反射后被光电探测器所接收，数据采集卡采集光电探测器的输出信号，计算机记录和处理数据采集卡上的输出信号。