[实用新型]扩晶机的顶膜结构有效

专利信息
申请号: 201520052888.3 申请日: 2015-01-22
公开(公告)号: CN204332927U 公开(公告)日: 2015-05-13
发明(设计)人: 彭晖;眭世荣 申请(专利权)人: 佛山市南海区联合广东新光源产业创新中心;彭晖
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 528220 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种扩晶机的顶膜结构,其俯视形状是四边形。在顶膜结构的四边分别设置可以转动的圆柱体。顶膜结构的顶端的表面与4个圆柱体的顶部在同一平面,使得蓝膜同时接触顶膜结构的顶端的表面和圆柱体的顶部。在扩晶机工作时,顶膜结构向上升起,圆柱体随顶膜结构向上升起,蓝膜被扩张,与蓝膜接触的圆柱体被扩张的蓝膜带动而转动并且改变蓝膜的拉伸方向,使得蓝膜受力较小并且受力均匀。
搜索关键词: 扩晶机 膜结构
【主权项】:
一种扩晶机的顶膜结构;所述顶膜结构的俯视形状是四边形;在所述顶膜结构的四边分别设置可以转动的圆柱体;所述顶膜结构的顶端的表面与4个所述圆柱体的顶部在同一平面,使得蓝膜同时接触所述顶膜结构的顶端的表面和所述圆柱体的顶部;在扩晶机工作时,所述顶膜结构向上升起,所述圆柱体随所述顶膜结构向上升起,所述蓝膜被扩张,与所述蓝膜接触的所述圆柱体被扩张的所述蓝膜带动而转动并且改变所述蓝膜的拉伸方向,使得所述蓝膜受力较小并且受力均匀。
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