[实用新型]一种真空阴极旋转永磁体动态磁场有效
| 申请号： | 201520071359.8 | 申请日： | 2015-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN204490984U | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王叔晖;孟庆学 | 申请（专利权）人： | 上海法德机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 唐海波 |
| 地址： | 201616 上海市松江区小昆山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。本实用新型提供的真空阴极旋转永磁体动态磁场不仅结构简单，而且能使靶材刻蚀范围加大，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 阴极 旋转 永磁体 动态 磁场 | ||
【主权项】：
一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，其特征在于：所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。
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