[实用新型]一种截流取样法氦质谱检漏装置有效
| 申请号： | 201520073296.X | 申请日： | 2015-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN204405270U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 张和毅 | 申请（专利权）人： | 上海贤日自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 汪家瀚 |
| 地址： | 201612 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种截流取样法氦质谱检漏装置，包括用于容置被检产品的真空密封室、用于抽真空密封室的抽真空设备、连接真空密封室与抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，第一截流阀与第二截流阀之间的真空管道形成截流段，氦质谱检漏仪连接截流段。通过在抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀，使第一截流阀与第二截流阀之间的抽真空管道形成截流段，通过关闭第一截流阀和第二截流阀，将真空密封室内的抽真空气体截流采集在截流段内，取走被检产品，对取样的抽真空气体进行检漏，检漏时被检产品已经脱离检测系统，提高生产效率，实现了生产线上的高速在线检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 截流 取样 法氦质谱 检漏 装置 | ||
【主权项】：
一种截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：包括用于容置被检产品的真空密封室、用于抽真空所述真空密封室的抽真空设备、连接所述真空密封室与所述抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，所述抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，所述第一截流阀与所述第二截流阀之间的真空管道形成截流段，所述氦质谱检漏仪连接所述截流段。
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