[实用新型]用于降温炉体的进排风系统有效
| 申请号： | 201520084047.0 | 申请日： | 2015-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN204478837U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 孙少东;侯建明;周厉颖 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度，可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关，可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质，从而保证降温炉体的降温性能，进而保证半导体热处理工艺的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 降温 进排风 系统 | ||
【主权项】：
一种用于降温炉体的进排风系统，其特征在于，包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。
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