[实用新型]一种普适高精度微结构制备系统

摘要

本实用新型公开了一种普适高精度微结构制备系统及应用方法。本系统采用独特的气体循环系统和散热系统，结合加热系统、位移系统和监控系统，对样品表面进行高精度微结构制备。编制程序由电脑控制压电陶瓷伸缩的位移系统，精度高；监控系统可对加工过程中的各参数进行全程监控；惰性气体循环系统保证了加工过程中样品表面不易被氧化，大幅度提高样品的制备质量；水冷散热系统使得样品的加工可以在高温下进行，从而提高了样品材料选择的普适性。本系统具有成本低，效率高，速度快，精度高和普适性强等优点，在微结构制备领域具有很大的推广和应用前景。

主权项

一种普适高精度微结构制备系统，其特征在于，包括底座支架（1‑3）、加热腔保护体（1‑2）、控制腔（1‑1）、升降杆（4‑5），底座支架（1‑3）支撑加热腔保护体（1‑2），加热腔保护体（1‑2）上安装有控制腔（1‑1）；加热腔保护体（1‑2）内设有加热腔体（4），加热腔体（4）内从低到高依次设有样品台托盘（4‑4）、样品台（4‑3）、进给压头（4‑1），进给压头（4‑1）外设有进给压头套（4‑2），升降杆（4‑5）贯穿了加热腔保护体（1‑2）、加热腔体（4）后与样品台托盘（4‑4）相连；加热腔体（4）内设有气体循环子系统；控制腔（1‑1）内设有导向杆（2‑3）、步进电机位移控制器（3‑1）、加压器件（2‑1）、压力传感器（3‑2）、压电陶瓷（3‑3），借助于导向杆（2‑3），步进电机位移控制器（3‑1）、加压器件（2‑1）、压力传感器（3‑2）、压电陶瓷（3‑3）依次相连。