[实用新型]用于真空系统运动机构的锁紧机构有效
| 申请号： | 201520093721.1 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN204474753U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 龙汝磊;戴秀海 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上具有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。本实用新型的优点是：实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 系统 运动 机构 | ||
【主权项】：
一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上设置有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。
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