[实用新型]一种定时腐蚀装置有效

专利信息
申请号: 201520095097.9 申请日: 2015-02-10
公开(公告)号: CN204461864U 公开(公告)日: 2015-07-08
发明(设计)人: 徐炜波;赵升升 申请(专利权)人: 深圳职业技术学院
主分类号: G01N1/32 分类号: G01N1/32
代理公司: 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 代理人: 王小青
地址: 518055 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种定时腐蚀装置,包括:底座;从所述底座向上延伸的支柱;连接在所述支柱顶端的横梁;设置在所述横梁上的滑动支架;用于容纳基片样品的样品框;用于驱动所述样品框在垂直方向上的提起位置和下降位置之间移动的垂直驱动汽缸,所述垂直驱动汽缸设置在所述滑动支架上,所述样品框连接在所述垂直驱动汽缸上;用于容纳腐蚀溶液的腐蚀箱,顶部开口且设置在所述横梁下方;控制箱,包括定时器,所述控制箱与所述垂直驱动汽缸电连接。通过定时器预设腐蚀时间,使数次腐蚀保持在相近水平,从而为逐层腐蚀和研究硬质薄膜沿层深分布提供设备支持。
搜索关键词: 一种 定时 腐蚀 装置
【主权项】:
一种定时腐蚀装置,其特征在于,包括:底座;从所述底座向上延伸的支柱;连接在所述支柱顶端的横梁;设置在所述横梁上的滑动支架;用于容纳基片样品的样品框;用于驱动所述样品框在垂直方向上的提起位置和下降位置之间移动的垂直驱动汽缸,所述垂直驱动汽缸设置在所述滑动支架上,所述样品框连接在所述垂直驱动汽缸上;用于容纳腐蚀溶液的腐蚀箱,顶部开口且设置在所述横梁下方;控制箱,包括定时器,所述控制箱与所述垂直驱动汽缸电连接。
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