[实用新型]克努曾箱蒸发源有效
| 申请号： | 201520105258.8 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN204550788U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 胡小鹏;薛其坤;陈曦;康志新;李鲁新 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源，其包括：一加热装置，用以加热装载于坩埚内的源材料；及一电动挡板装置，用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布，实现了蒸发源高精度的温度稳定与控制，温度最高可达1650℃。本实用新型通过设置一电动挡板装置，可通过一微小电流脉冲快速高效地控制挡板的开关状态，并可实现实验的远程操控。 | ||
| 搜索关键词： | 克努曾箱 蒸发 | ||
【主权项】：
一种克努曾箱蒸发源，其包括：一坩埚、一固定架以及一加热丝结构，其特征在于，所述固定架为笼状结构，环绕所述坩埚设置，所述加热丝通过所述固定架固定，并等间隔螺旋环绕所述坩埚设置。
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