[实用新型]克努曾箱蒸发源装置

摘要

本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源装置，其包括：一加热装置，用以加热装载于坩埚内的源材料；及一电动挡板装置，用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布，实现了蒸发源高精度的温度稳定与控制，温度最高可达1650℃。本实用新型通过设置一电动挡板装置，可通过一微小电流脉冲快速高效地控制挡板的开关状态，并可实现实验的远程操控。

主权项

一种克努曾箱蒸发源装置，其包括：一克努曾箱蒸发源，包括一坩埚、一固定架以及一加热丝结构，所述固定架为笼状结构，环绕所述坩埚设置，所述加热丝通过所述固定架固定，并环绕所述坩埚设置；一电动挡板装置，该电动挡板装置包括一挡板支撑杆、一挡板、一永久磁铁具有两个磁极、一第一电磁线圈以及一第二电磁线圈，所述挡板以及永久磁铁分别设置于所述挡板支撑杆的相对两端，所述克努曾箱蒸发源靠近所述挡板固定于所述挡板支撑杆，并相对于所述挡板支撑杆转动，所述挡板与所述坩埚相对设置，所述第一电磁线圈以及所述第二电磁线圈分别所述永久磁铁的两个磁极相对设置。