[实用新型]一种近距离可调化合物蒸发镀膜红外真空装置

摘要

本实用新型公开了一种近距离可调化合物蒸发镀膜红外真空装置，包括有箱体，箱体内包括有试样反应区、真空腔体、加热区，试样反应区、真空腔体、加热区通过插板隔断，试样反应区内设有反应炉，真空腔体内设有真空机组及控制装置，加热区内设有加热蒸发机构，箱体的加热区的两侧面板开设有散热槽孔，加热区顶部活动连接有散热窗口，散热窗口位于加热蒸发机构的上方，加热区的一侧面上设有显示装置，显示装置的一侧开设有凹槽，箱体的试样反应区的两侧面板开设有散热槽孔，箱体的底部设有万向转轮；本实用新型其结构独特简单，有利于实现真空洁净环境，能够实现单独控制，快速升降温度，加热部件区间距离可调，加热效果好，降低了损耗。

主权项

一种近距离可调化合物蒸发镀膜红外真空装置，其特征在于：包括有箱体，所述的箱体内包括有试样反应区、真空腔体、加热区，试样反应区、真空腔体、加热区通过插板隔断，所述的试样反应区内设有反应炉，所述的真空腔体内设有真空机组及控制装置，所述的加热区内设有加热蒸发机构，箱体的加热区的两侧面板开设有散热槽孔，所述的加热区顶部活动连接有散热窗口，散热窗口位于加热蒸发机构的上方，所述的加热区的一侧面上设有显示装置，显示装置的一侧开设有凹槽，所述的箱体的试样反应区的两侧面板开设有散热槽孔，箱体的底部设有万向转轮。