[实用新型]反应腔室以及化学气相淀积机台

摘要

本实用新型提供一种反应腔室，包括腔体、用于承载衬底并对衬底加热的加热器，以及套设于所述加热器外侧的固定环，固定环包括内环和外环，外环用于固定所述加热器上的衬底，内环填充所述外环和所述衬底之间的缝隙。内环对外环和衬底之间的空隙起到很大的阻挡作用。本实用新型还提供一种化学气相淀积机台，包含上述反应腔室以及喷淋头，当反应气体通过喷淋头进入腔体后，在加热器的表面形成的生成物大大减少，能够提高对衬底化学气相淀积的质量。另外，对加热器定期清洁的周期可以大大延长，有效减小了清洁加热器对加热器表面带来的损害。

主权项

一种反应腔室，包括腔体，用于承载衬底并对衬底加热的加热器，以及套设于所述加热器外侧的固定环；其特征在于，所述固定环包括内环和外环，所述外环用于固定所述加热器上的衬底，所述内环填充所述外环和所述衬底之间的缝隙。