[实用新型]一种气态物料的配料系统

摘要

本实用新型公开了一种气态物料的配料系统，包括与配料罐连通的WF₆供料装置、HF供料装置、N₂供料装置，WF₆供料装置包括通过管道和阀门依次相通的WF₆供料容器、WF₆稳压罐、WF₆质量流量计、配料罐，所述的HF供料装置包括通过管道和阀门依次相通的HF供料容器、HF稳压罐、HF质量流量计、标准体积罐、配料罐，N₂供料装置包括通过管道和阀门依次相通的N₂供料容器、N₂稳压罐、N₂质量流量计、标准体积罐、配料罐，本实用新型实现了各物料的定量调整与供给，保证了进入配料罐的物料流量与各自的含量是稳定不变的，分别采用质量法控制WF₆的流量和体积法控制HF、N₂的流量，控制精度和控制难度，阀门W7与阀门N4的使用，使本实用新型可以满足大物料漏率的要求。

主权项

一种气态物料的配料系统，其特征在于：包括WF₆供料装置（1）、HF供料装置（2）、N₂供料装置（3）并行连接到管道（6）中，并与配料罐（4）连通，所述的WF₆供料装置（1）包括通过管道（6）和阀门依次相通的WF₆供料容器（5）、WF₆稳压罐（7）、WF₆质量流量计（9）、配料罐（4），所述的HF供料装置（2）包括括通过管道（6）和阀门依次相通的HF供料容器（10）、HF稳压罐（11）、HF质量流量计（12）、标准体积罐（13）、配料罐（4），HF质量流量计（12）两端与W7阀门并行连通，所述的标准体积罐（13）包括四个接口，标准体积罐（13）的第一、第四接口两端与依次连通的W9阀门、Ⅳ号压力计（22）、W10阀门并行连通，所述的N₂供料装置（3）包括通过管道（6）和阀门依次相通的N₂供料容器（15）、N₂稳压罐（16）、N₂质量流量计（13）、标准体积罐（13）、配料罐（4），N₂质量流量计（13）两端与N4阀门并行连通，标准体积罐（13）的第三、第四接口两端与依次连通的N6阀门、Ⅴ号压力计（23）、N7阀门并行连通，连接有真空泵机组（18）的收料容器（14）分别与HF稳压罐（11）、N₂稳压罐（16）、标准体积罐（13）连通。